(1)、 往復真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵是靠活塞往復運動或旋轉(zhuǎn)將氣體吸入、壓縮并排出。它們的優(yōu)點是新投入使用的泵真空度相對比較高,但是活塞是運轉(zhuǎn)部件,因此活塞的磨損是避免不了的,隨著檢修次數(shù)的增加工作真空度將不斷下降,直至滿足不了生產(chǎn)的要求。此類泵工作噪音大,耗油量大,故障率高也是 其致命的缺點,一般都需要開一臺備用一臺,這無形中增加了設(shè)備投資與運行費用。另外如果用此類泵抽吸水蒸汽等可凝性氣體,將使?jié)櫥腿榛?,因此只能應用在抽吸不凝?空氣類)氣體,也不能抽吸帶有顆粒狀的介質(zhì),這也就限制了其適用范圍。
(2)、水環(huán)真空泵是靠裝在泵殼內(nèi)的帶有多葉片的偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),把水拋向泵殼形成與泵殼同心的水環(huán),水環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化從而將氣體吸入、壓縮并排出。它的優(yōu)點是低真空時抽氣量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性氣體。它的缺點是真空度低,不能抽吸帶有顆粒狀的介質(zhì)。